2022-09-01
洁净室性能监控需要那些仪器和仪表
在洁净室的日常维护工作中,仪器仪表的作用相当于一面镜子,监督洁净室运行的状态。 主要仪器和仪表1、风压测试仪器:主要用于测定洁净室之间和洁净与非洁净区之间微压差,也可利用压差法测量风速,计算风量。(1)液体压力计:液体压力计具有使用方便、价格低廉、精确度较高、制造安装方便等优点,但有测量范围受限制、玻璃管易碎等缺点。常用的工作液体有:酒精、水、水银等,在洁净室测量中主要是酒精和水。液体压力计主要有:U型管压力计、斜管压力计、补偿式压力计。(2)弹簧压力计:弹簧压力计是根据弹簧元件在所测压力作用下发生变形,…
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